반응형 ArF Single Layer Resist1 Arf(불화아르곤) 포토레지스트란 무엇일까? Arf 포토레지스트, Arf 액침용 포토레지스트에 대해 알아보자 포토레지스트(Photo resist)란? Arf(불화 아르곤) 포토레지스트를 알기 전에 포토레지스트(Photo resist)를 먼저 알아야 합니다. 포토레지스트(Photo resist)란 말 그래도 Photo는 빛을 나타내고 Resist는 저항을 나타냅니다. 이 두 언어가 합쳐져서 생긴 말이 포토레지스트입니다. 주된 특징으론 빛으로 인한 에칭에 버티며 감광액 용액의 주성분으로 하는 액상 화학재료입니다. 이런 반도체 제조에 있어서는 포토리소그래피(Photolithography) 즉 포토 공정에 이용되는 소재라고 할 수 있습니다. 여기서 포토공정은 깨끗하게 세정(Clean) 공정을 거친 기판 위에 감광액을 발라 코팅된 포토레지스트에 빛을 발사해, 빛에 영향받은 곳과 그렇지 않은 곳을 분류해, 반도체 설계대로.. 2022. 8. 12. 이전 1 다음 반응형
